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durumis AIが要約した文章
- サムスン化学は、2025年12月に完成予定の日本岩国大竹工場に、年間5,000枚生産規模の炭素ナノチューブ(CNT)ペリクル生産設備を構築する。
- CNTペリクルは、半導体製造工程でフォトマスクを保護し、傷や埃による生産性低下を防ぎ、特に最先端半導体製造に必須な極端紫外線(EUV)露光技術に適している。
- 今回の量産決定は、増加する最先端半導体需要と微細化回路形成のためのEUV露光技術の導入拡大に対応するためのものとして、日本国内半導体産業競争の激化を予告する。
サムスン化学が、次世代露光装置に使用される炭素ナノチューブ(CNT)ペリクルを量産すると発表しました。今回の量産は、日本岩国大竹工場(山口県和木町)に生産設備を設け、2025年12月に竣工予定です。年間生産能力は5,000枚で、投資規模は公表されていません。
サムスン化学の今回のCNTペリクル量産は、増加する先端半導体の需要に対応するためです。ペリクルは、フォトマスク(半導体回路原板)表面に貼り付ける薄い保護膜で、傷や埃が付着するのを防ぎ、露光工程の生産性向上に役立ちます。
近年、人工知能(AI)などの活用が加速化するにつれて、データ処理を担う半導体には高速処理能力と低消費電力が求められています。これらの要求を満たすためには、回路線幅の超微細化が必須となっています。そのため、微細化回路形成のための極端紫外線(EUV)露光技術の導入が本格的に拡大しています。
サムスン化学は、EUV露光環境に適した高い透過率と耐光性を持つCNTペリクルの事業化を通じて、これらの需要に対応していく計画です。今回の量産決定は、日本国内の半導体産業競争がさらに激化する見通しです。