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durumis AI News Japan

サムスン化学、次世代露光装置用CNTペリクルの量産開始 - 日本における半導体産業競争激化

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サムスン化学が、半導体製造用次世代露光装置に用いられるカーボンナノチューブ(CNT)ペリクルを量産すると発表しました。今回の量産は、日本国内の岩国大竹工場(山口県和木町)に生産設備を設置し、2025年12月に完成予定で、年間生産能力は5,000枚、投資規模は公表されていません。

サムスン化学の今回のCNTペリクル量産は、増加する最先端半導体需要に対応するためのものです。ペリクルは、フォトマスク(半導体回路原盤)表面に貼り付ける薄い保護膜で、傷や埃が付着するのを防ぎ、露光工程の生産性を向上させる役割を果たします。

近年、人工知能(AI)などの活用が加速化するにつれ、データ処理を担う半導体には、高速処理能力と低消費電力が求められています。これらの要求を満たすためには、回路線幅の超微細化が不可欠であり、微細化回路形成のための極紫外線(EUV)露光技術の導入が本格的に拡大しています。

サムスン化学は、EUV露光環境に適した高い透過性と耐光性を備えたCNTペリクルの事業化を通じて、これらの需要に対応する計画です。今回の量産決定により、日本国内の半導体産業競争がさらに激化する見通しです。

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