Samsung Chemical объявила о начале массового производства углеродных нанотрубок (CNT) для пеликул, используемых в оборудовании для экспонирования следующего поколения для производства полупроводников. Производство начнется в конце 2025 года на новом производственном объекте в Ивакуни Оотаке (префектура Ямагути, Япония). Годовая производственная мощность составит 5 000 листов, инвестиции не разглашаются.

Массовое производство CNT пеликул компанией Samsung Chemical является ответом на растущий спрос на передовые полупроводники. Пеликул - это тонкая защитная пленка, наносимая на поверхность фотошаблона (пластины для полупроводниковых схем), которая предотвращает царапины и образование пыли, повышая производительность процесса экспонирования.

В последнее время наблюдается ускоренное развитие искусственного интеллекта (ИИ), что приводит к повышенным требованиям к производительности и энергоэффективности полупроводников, отвечающих за обработку данных. Для удовлетворения этих требований необходима ультраминиатюризация ширины линий схемы, и в настоящее время активно внедряется технология экспонирования с использованием глубокого ультрафиолета (EUV).

Samsung Chemical планирует удовлетворить этот спрос за счет коммерциализации пеликул из CNT с высокой пропускной способностью и устойчивостью к экспонированию, подходящих для условий экспонирования с использованием EUV. Решение о начале массового производства, вероятно, усилит конкуренцию в японской полупроводниковой отрасли.