Samsung Chemical начинает серийное производство CNT-пеликул для оборудования следующего поколения литографии - Обострение конкуренции в японской полупроводниковой промышленности

Samsung Chemical объявила о начале серийного производства пеликул из углеродных нанотрубок (CNT), используемых в передовом оборудовании для экспонирования, применяемом в производстве полупроводников. Производство будет налажено на установках, которые планируется установить на заводе Ивакуни Оотаке (город Ваки, префектура Ямагучи, Япония), и завершить строительство к декабрю 2025 года. Годовая производственная мощность составит 5000 листов, размер инвестиций не разглашается.

Серийное производство пеликул CNT от Samsung Chemical обусловлено растущим спросом на передовые полупроводники. Пеликула — это тонкая защитная пленка, которая наносится на поверхность фотошаблона (полупроводниковая пластина с заданной схемой), предотвращая образование царапин и попадание пыли, тем самым повышая производительность процесса экспонирования.

В последнее время наблюдается ускорение внедрения искусственного интеллекта (ИИ) и других технологий, что приводит к повышению требований к полупроводникам, обрабатывающим данные, — они должны обеспечивать высокую скорость обработки и низкое энергопотребление. Для удовлетворения этих требований необходима дальнейшая миниатюризация топологии схем. В связи с этим происходит активное внедрение технологии экспонирования с использованием экстремального ультрафиолета (EUV) для формирования сверхтонких схем.

Samsung Chemical планирует удовлетворить этот спрос за счет коммерциализации пеликул CNT, которые отличаются высокой прозрачностью и устойчивостью к воздействию ультрафиолета, что делает их оптимальным решением для условий экспонирования EUV. Принятие решения о серийном производстве, вероятно, приведет к дальнейшему обострению конкуренции в полупроводниковой отрасли Японии.