Samsung Chemical beginnt mit der Massenproduktion von CNT-Pellikeln für die nächste Generation von Belichtungsanlagen - Verschärfter Wettbewerb in der Halbleiterindustrie in Japan

Samsung Chemical gab bekannt, dass es Pellikel aus Kohlenstoff-Nanoröhren (CNT), die für die nächste Generation von Belichtungsanlagen zur Halbleiterherstellung verwendet werden, in Serie produzieren wird. Für die Serienproduktion wird in der Iwakuni Ōtake-Fabrik in Japan (Wakicho, Präfektur Yamaguchi) eine Produktionsanlage errichtet, die im Dezember 2025 fertiggestellt werden soll. Die jährliche Produktionskapazität beträgt 5.000 Stück, die Höhe der Investitionen wurde nicht bekannt gegeben.

Die Serienproduktion von CNT-Pellikeln durch Samsung Chemical ist eine Reaktion auf die steigende Nachfrage nach fortschrittlichen Halbleitern. Pellikel sind dünne Schutzfolien, die auf die Oberfläche von Photomasken (Halbleiter-Chip-Substrate) aufgebracht werden, um Kratzer und Staub zu vermeiden und so die Produktivität des Belichtungsprozesses zu verbessern.

In letzter Zeit hat die zunehmende Nutzung von künstlicher Intelligenz (KI) zu einem erhöhten Bedarf an Halbleitern geführt, die die Datenverarbeitung übernehmen. Diese Halbleiter müssen hohe Verarbeitungsgeschwindigkeiten und einen geringen Energieverbrauch gewährleisten. Um diese Anforderungen zu erfüllen, ist eine Ultrafeinstrukturierung der Leiterbahnen unerlässlich, und die Einführung der Extreme Ultraviolet Lithography (EUV)-Belichtungstechnik wird zunehmend vorangetrieben.

Samsung Chemical plant, mit der Kommerzialisierung von CNT-Pellikeln mit hoher Durchlässigkeit und Lichtbeständigkeit, die für die EUV-Belichtungsumgebung geeignet sind, auf diese Nachfrage zu reagieren. Durch diese Entscheidung zur Serienproduktion wird voraussichtlich der Wettbewerb in der Halbleiterindustrie in Japan weiter zunehmen.