这是AI翻译的帖子。
三星化學啟動次世代曝光設備用CNT pellicle 量產 - 日本半導體產業競爭加劇
- 写作语言： 韓国語
- •
-
基准国家： 日本
- •
- 信息技术
durumis AI News Japan
0000-00-00 00:00:00
选择语言
三星化學宣布將量產用於半導體製造的下一代曝光設備的碳奈米管（CNT）保護膜。此次量產將在日本岩國大竹工廠（山口縣和岐町）設置生產設備，預計於2025年12月完工，年產能為5,000片，投資規模尚未公開。
三星化學此次量產CNT保護膜旨在應對日益增長的先進半導體需求。保護膜是附著在光罩（半導體電路晶圓）表面的一層薄薄的保護層，可防止刮傷和灰塵附著，從而提高曝光製程的生產效率。
近年來，隨著人工智慧（AI）等應用的加速發展，負責數據處理的半導體對高速處理能力和低功耗提出了更高的要求。為了滿足這些需求，必須將電路線寬微細化，而使用極紫外光（EUV）曝光技術來形成微細化電路已開始積極推廣。
三星化學計劃透過將具有高透光率和耐光性的，適用於EUV曝光環境的CNT保護膜商業化，來應對這些需求。此次量產決定預計將進一步加劇日本國內半導體產業的競爭。
