삼성 화학이 반도체 제조용 차세대 노광 장비에 사용되는 탄소 나노 튜브 (CNT) 펠리클을 양산한다고 밝혔습니다. 이번 양산은 일본 내 이와쿠니 오오타케 공장 (야마구치현 와키쵸)에 생산 설비를 설치하여 2025년 12월에 완공될 예정이며, 연간 생산 능력은 5,000매로 투자 규모는 공개되지 않았습니다.

삼성 화학의 이번 CNT 펠리클 양산은 증가하는 첨단 반도체 수요에 대응하기 위한 것입니다. 펠리클은 포토 마스크 (반도체 회로 원판) 표면에 부착하는 얇은 보호막으로, 흠집과 먼지가 붙는 것을 방지하여 노광 공정의 생산성을 향상시키는 역할을 합니다.

최근 인공 지능 (AI) 등의 활용이 가속화됨에 따라 데이터 처리를 담당하는 반도체는 고속 처리 능력과 저전력 소비를 요구받고 있습니다. 이러한 요구를 충족하기 위해 회로 선폭의 초미세화가 필수적인 상황이며, 미세화 회로 형성을 위한 극자외선 (EUV) 노광 기술의 도입이 본격적으로 확대되고 있습니다.

삼성 화학은 EUV 노광 환경에 적합한 높은 투과성과 내광성을 갖춘 CNT 펠리클의 사업화를 통해 이러한 수요에 대응할 계획입니다. 이번 양산 결정은 일본 내 반도체 산업 경쟁이 더욱 심화될 것으로 예상됩니다.